檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Shyan-Kay Jou".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="氧化鋁"
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具有自銳性的金屬材料結合鑽石工具廣泛被應用在非鐵基材料的加工、研磨與切削上。這種具有自銳性的鑽石工具的結合基材成份不同於傳統熱壓製程所使用的青銅、鈷或青銅與鈷基材,是近年鑽石工具研發之主題。為達到具…
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本論文主要探討矽晶黑晶片表面抗反射結構的製作及其以原子層沉積氧化鋁作為黑晶片表面鈍化的機制。首先我們嘗試找出以水為氧源及三甲基鋁為鋁源的熱原子層沉積法合成氧化鋁膜的自我限制成長條件。結果發現,在基材…